XPS的样品准备一e测试

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XPS的样品准备

2021-05-28 17:07:30 13 635

XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)又称ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis), 能够分析出了氢，氦以外的所有元素。测定精确到0.1at%, 空间分辨率为100um, X-RAY的分析深度在1.5nm左右。

XPS的样品一般是10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超过5mm. 一般我的样品5mm*5mm*1mm. XPS分析室的真空度可以达到<10E-9 Pa, 因此样品要干燥，不能释放气体。xps的灵敏度很高，待测样品表面，绝对不能用手，手套接触。也不要清洗。

对于非导体样品，由于表面电荷的累计，我们需要打开charge neutroliszer。

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