纳米压痕的技术参数一e测试

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纳米压痕的技术参数

2021-05-31 17:31:35 4 1073

纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。

纳米压痕仪的基本组成可以分为控制系统、移动线圈系统、加载系统及压头等几个部分。压头一般使用金刚石压头，分为三角锥或四棱锥等类型。试验时，首先输入初始参数，之后的检测过程则完全由微机自动控制，通过改变移动线圈系统中的电流，可以操纵加载系统和压头的动作，压头压入载荷的测量和控制通过应变仪来完成，同时应变仪还将信号反馈到移动线圈系统以实现闭环控制，从而按照输入参数的设置完成试验。

纳米压痕仪的技术参数

最大加载载荷：400mN

载荷分辨率：30nN

可实现的最小载荷：1.5μN

位移分辨率：0.003nm

可实现的自小位移：0.04nm

可实现的最大位移：250μm

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