SEM/EDS的原理应用及案例分享

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课程简介：

扫描电子显微镜（SEM）与能谱仪（EDS）联用是材料微观形貌观察与微区成分分析的标准方法。本课程系统讲解SEM的工作原理、探测器类型及影响成像分辨率的关键因素，同时深入介绍EDS的原理、定性与定量分析、探测限及假峰识别。学员将通过大量实战案例，掌握如何结合形貌与成分数据解决实际科研与工业问题。

课程亮点：

原理透彻：从电子束与样品相互作用、SE/BSE成像差异，到特征X射线产生、能谱仪工作逻辑，构建完整知识体系；

参数优化：解析加速电压、束流、工作距离、探测器选择对分辨率与衬度的影响，以及荷电效应等常见问题；

定量分析：涵盖EDS定性/定量基础、ZAF校正、探测限计算、假峰识别及影响准确度的关键因素；

案例丰富：提供焊锡IMC层分析、金手指腐蚀、LCD异物、传感器界面缺陷等真实案例，展示数据解读与问题溯源流程。

课程大纲：

SEM原理与成像：二次电子与背散射电子的产生、探测器及成像特点；成分衬度与取向衬度；图像分辨率的影响因素。

EDS原理与定量分析：特征X射线产生机制；能谱仪类型；定性分析与定量分析基础；常见假峰及影响准确度的因素。

EDS数据模式与应用：点分析、线扫描、面分布、颗粒物自动分析。

综合案例分享：金属界面IMC分析、生锈导轨与锂电池负极分析、金手指腐蚀与LCD异物分析、PZT缓冲层评估及传感器界面缺陷分析。

刘老师

微电子学与固体电子学专业硕士，高级工程师；
十多年来一直致力于电子行业、半导体与材料的缺陷分析和研究，熟悉各种材料表征技术，尤其是SEM-EDS、AES、TOF-SIMS、GC、FTIR、TEM等。
在微观分析、结构表征以及可靠性评价方面有着丰富的经验，为客户解决了大量的失效分析案例。