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项目介绍
样品要求
结果展示
常见问题
1. 样品要求:样品平整,存在多层结构需要明确材质结构才可分析;薄膜样品,膜层厚度 10nm-10um;有基底的膜层结构要做折射率和消光系数,基底厚度要求越厚越好,膜层厚度要在10um以下,如果是单层膜样品,没有基底,膜厚越厚越好,最好500um以上;
2. 膜层需为透明薄膜且膜层表面均匀光滑,送样前用激光笔照射样品表面,样品表面能观察到有反射光束才可测试;同时基底最好是不透明的,透明基底会影响测试结果,同时最好提供空白基底用于拟合;
3.最好自行提供空白基底,模拟数据会更准确,实验室能提供的基底有限,拟合偏差会大点;
4. 测试光谱范围200-2000nm;
5. 如有其他疑问,请联系前期对接的技术顾问。
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椭圆偏振主要用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构,通过精确测量薄膜样品的椭偏参数,经过后期数学处理、模拟和拟合,从而推导出多层结构、均匀和非均匀结构的厚度、光学常数(折射率,消光系数)、组分以及其他相关参数。
样品平整,存在多层结构需要明确材质结构才可分析;薄膜样品,膜层厚度 10nm-10um;有基底的膜层结构要做折射率和消光系数,基底厚度要求越厚越好,膜层厚度要在10um以下,如果是单层膜样品,没有基底,膜厚越厚越好,最好500um以上;膜层需为透明薄膜且膜层表面均匀光滑,送样前用激光笔照射样品表面,能观察到有反射光束方可;
可得到膜厚及n,k曲线
利用椭偏仪测量薄膜参数,测量得到是的反射光的偏振状态(振幅和相位)通过软件建立一定的模型,膜厚,折射率,消光系数等参数时一并可以得到;
椭偏仪适用于无机材料,样品有一定透光性;
400-005-5990