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1. X射线光电子能谱（XPS）可测试全谱、精细谱、俄歇谱、价带谱，也可刻蚀后采谱得到深层的信息；2. X射线光电子能谱（XPS）按元素个数收费（需要包含必测元素C，不能测试H、He元素）；一个元素默认测一个轨道，若测试多个轨道计为多个元素；一个样品默认一个测试位置，若测试多个位置计为多个位置；3. XPS定量为半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号；4. 测试默认单色化Al靶（AlKαsource），能量1486.68eV；
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    扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。此外，扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合，可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。
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  电感耦合等离子体(ICP)是用于原子发射光谱和质谱的主要光源，以ICP为中心，在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元),形成了多元素分析系统。用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度高等优点。  ICP-OES利用的是原子发射光谱进行定性定量分析；ICP-MS利用的是离子质谱，采用质荷比不同而进行分离检测。两者可分析的元素基本一致，不过由于分析检测系统的差异，两者的检测限有差异：ICP-MS的检测限很低，可以达到ug/L（ppb）的水平；而ICP-OES一般是mg/L（ppm）的级别。不过ICP-MS只能分析固体溶解量为0.2%左右的溶液（因此经常需要稀释），而ICP-OES则可以分析固体溶解量超过20%的溶液。
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