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满意度: 98%
仪器型号:
荷兰-帕纳科 锐影- Xpert Pro MPD,德国-Bruker-D8 Discover等
预约次数:
120次
服务周期:
平均7.0个工作日
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项目介绍
结果展示
常见问题
1. 薄膜厚度,尺寸10-30mm;膜厚100nm以下,如果样品质量好的话,最大可以测到150nm左右;
2. 要求样品表面光滑平整,尽量是带基底的薄膜材料;
3. 如有其他疑问,请联系前期对接的技术顾问;
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1. 建立样品模型;
2. 根据样品模型计算理论曲线;
3. 拟合理论与实测曲线;
4. 拟合收敛,得到结果;
薄膜上表面对X射线会有反射的信号,膜与基底(或多层膜中的膜与膜)间的界面对X射线也有反射信号,这些信号相互干涉形成波形干涉谱图,通过波形的周期(宽度)来计算膜厚,膜越厚,干涉波宽度越小;
一般用XRR法测薄膜可以测几纳米到几百纳米的厚度;
400-005-5990