X射线反射(XRR)

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X射线反射(XRR)须知:

1. 薄膜厚度,尺寸10-30mm;膜厚100nm以下,如果样品质量好的话,最大可以测到150nm左右;

2. 要求样品表面光滑平整,尽量是带基底的薄膜材料;

3. 如有其他疑问,请联系前期对接的技术顾问;


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常见问题

  • XRR数据解析大体流程?

    1. 建立样品模型;

    2. 根据样品模型计算理论曲线;

    3. 拟合理论与实测曲线;

    4. 拟合收敛,得到结果;

  • XRR测试厚度的原理及适用范围?

    薄膜上表面对X射线会有反射的信号,膜与基底(或多层膜中的膜与膜)间的界面对X射线也有反射信号,这些信号相互干涉形成波形干涉谱图,通过波形的周期(宽度)来计算膜厚,膜越厚,干涉波宽度越小;

    一般用XRR法测薄膜可以测几纳米到几百纳米的厚度;

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预约须知

须知:

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