椭圆偏振(椭偏仪)

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椭圆偏振(椭偏仪)

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仪器型号:

Accrion/Nanofilm EP4SE,Horiba Uvisel Plus,组装设备,美国-J.A.Woollam-M-2000V等

预约次数:

502次

服务周期:

平均8.0个工作日

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常见问题

预约须知

1. 样品要求:薄膜样品,膜层厚度 10nm-10um;有基底的膜层结构要做折射率和消光系数,基底厚度要求越厚越好,膜层厚度要在10um以下,如果是单层膜样品,没有基底,膜厚越厚越好,最好500um以上;

2. 膜层需为透明薄膜且膜层表面均匀光滑,送样前用激光笔照射样品表面,能观察到有反射光束方可;同时基底最好是不透明的,透明基底会影响测试结果;

3. 测试光谱范围200-2000nm;

4. 如有其他疑问,请联系前期对接的技术顾问;




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项目介绍

椭圆偏振主要用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构,通过精确测量薄膜样品的椭偏参数,经过后期数学处理、模拟和拟合,从而推导出多层结构、均匀和非均匀结构的厚度、光学常数(折射率,消光系数)、组分以及其他相关参数。


样品要求

必须是薄膜样品,膜层厚度 10nm-10um有基底的膜层结构要做折射率和消光系数,基底厚度要求越厚越好,膜层厚度要在10um以下,如果是单层膜样品,没有基底,膜厚越厚越好,最好500um以上;膜层需为透明薄膜且膜层表面均匀光滑,送样前用激光笔照射样品表面,能观察到有反射光束方可

结果展示

可得到膜厚及n,k曲线

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常见问题
椭偏仪可以测量哪些参数?

利用椭偏仪测量薄膜参数,测量得到是的反射光的偏振状态(振幅和相位)通过软件建立一定的模型,膜厚,折射率,消光系数等参数时一并可以得到;

椭偏仪适用于哪些材料的测试?

椭偏仪适用于无机材料,样品有一定透光性;

预约须知

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