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X射线光电子能谱（XPS）

32503次预约 99%满意度 5天完成 5天无理由复测

X射线光电子能谱（XPS）须知：

1. 样品要求：块状和薄膜样品，长宽小于10mm，厚度小于3mm(最佳尺寸小于5×5×2mm，大尺寸样品请联系技术顾问确认；岛津设备最好长宽在5mm内)，刻蚀的样品尺寸尽量做5-10mm的方块，请务必标记好测试面；粉末样品，不少于10mg；液体样品需制好样再测试，可自行制样后再寄送，若直接寄送液体样品，请联系技术顾问确认；

2. 特别注意：无法测试含硫、氟、氯、溴、碘单质等材料；样品表面请用乙醇擦拭干净并抽真空来样，样品接触空气容易受C，N，O，Si等元素污染，测试结果可能会有误差；含量小于5%的元素可能测不出明显信号；样品是用胶带固定到样品台上，回收的样品会有污染或损坏/损失，不建议回收样品！测试默认Al靶；

3. 此项目可做刻蚀（岛津设备除外）；可测试磁性材料，包括磁性块体，强磁样品请务必提前说明，且加收磁性费；价带谱、俄歇谱也加收费用；一个样品默认一个测试位置；

4. 请根据需要的数据格式选择测试设备：赛默飞设备默认VGD/VGP格式（软件Avantage）,岛津设备默认VMS格式（软件CasaXPS）,PHI设备默认SPE格式（软件MultiPak）；

5. 五天无理由复测仅支持原条件、原样品复测;

6. 如有其他疑问，请联系前期对接的技术顾问；

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常见问题

问XPS谱峰校正标准是什么呢？

一般是以C-C峰284.8ev进行校正的，总谱、分谱是不同的测试方法，所有不是一起校正的，只校正分谱数据，总谱不用校正；价带谱VB是以刚出峰的位置为0进行校正的；
问XPS误差可能产生原因有哪些？

样品本身污染，或测试过程被周围样品污染；
样品不均匀，这种情况比较常见，因为测试区域仅500微米，不同位置结果差别可能比较大；
问谱图左高右低是什么原因？

正常XPS谱峰，左高右低是常见的，每个元素的谱峰左边高结合能端（即低动能）总会高于低结合能端，所以纵观整个全谱，你可以看到每出来一个XPS峰，就会伴随着谱峰抬升的台阶出现。因为每个XPS峰出现表明有大量该动能的电子逃逸出来，当然也会伴随着逃逸过程中损失能量的电子信号，造成背底抬升。所以如果存在表面污染，样品有序性不好等会引起逃逸电子散射增强的因素存在，都会使得这种抬升效果变得更明显；
问单个元素如果测有不同轨道的谱图，定量以哪个为准？

定量时以元素的特征轨道谱图为准，如果存在多个轨道，切忌重复计算；
问样品不含碳元素，测出来很高，是经过碳污染了吗？XPS测试时候会不会另外引入碳？

XPS测试过程中不会人为的引入碳，任何样品一旦接触空气都会吸附空气中的碳，引起碳污染。对于不含碳元素的样品，因为碳污染，C元素测试结果在60%左右都有可能；
若样品不含C元素，最好提供样品的详细信息，包含哪些元素。测试老师可以根据样品中已有的元素来进行定标校准，以保证结果的准确性；
问XPS分峰的大概步骤是什么？

XPS分峰需要结合其他测试以及样品的实际情况，需要知道样品的详细合成过程等，比较复杂；先确定有多少个峰，打个比方，拟合C的时候，根据材料或者红外拉曼等结果，确定样品中有C-C，C-O，C=O三个键，那就分三个峰，对应好结合能，慢慢调这三个峰的半高宽，越接近越好；
问XPS分峰半峰宽和L-G的设置？

半峰宽控制在1.8以下，几个峰的半峰宽别相差太多，L-G一般设置30，如果感觉拟合的不好，可以设置范围20-40；
https://srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx查找标准峰；
问XPS数据处理时，用碳元素进行电荷校正时和分峰的先后顺序是？

一般来说都是先通过碳对谱图进行校正，只有个别C-C结构峰不明显时需要分峰后再校正；

结果展示

高分辨+分峰拟合图：