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三维轮廓仪

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三维轮廓仪

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德国-Bruker-Contour X200，日本-KEYENCE-VR-6000

德国-Bruker-Contour X200，日本-KEYENCE-VR-6000

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X射线光电子能谱（XPS）

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X射线光电子能谱（XPS）

1. X射线光电子能谱（XPS）可测试全谱、精细谱、俄歇谱、价带谱，也可刻蚀后采谱得到深层的信息；2. X射线光电子能谱（XPS）按元素个数收费（需要包含必测元素C，不能测试H、He元素）；一个元素默认测一个轨道，若测试多个轨道计为多个元素；一个样品默认一个测试位置，若测试多个位置计为多个位置；3. XPS定量为半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号；4. 测试默认单色化Al靶（AlKαsource），能量1486.68eV；
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1. 样品要求：块体样品，长宽高不超过100*100*100mm；表面要平整，粗糙度在100μm以内；

2. 特别注意：不能测试透明、黑色和粗糙度过大的样品，要求样品有一定反光性；每个样品默认一个测试位置；

3. 如有其他疑问，请联系前期对接的技术顾问；


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主要测试材料的三维形貌、粗糙度、深度、体积等。


样品要求

块体样品，长宽高不超过100*100*100mm，表面要平整，粗糙度在100μm以内；不能测试透明、黑色和粗糙度过大的样品，要求样品有一定反光性；


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2D、3D图像及粗糙度

屏幕截图 2023-07-20 172139.jpg

体积、面积、长度

屏幕截图 2023-07-20 171203.jpg




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