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高分辨XRD

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高分辨XRD须知:

1、高分辨XRD可做单晶薄膜/外延薄膜,或单晶/多晶薄片材料;

2、样品要求:薄片材料,测量面平整,厚度测量要求薄膜与衬底电子密度有明显差别且粗糙度尽量小。   

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