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项目介绍
样品要求
结果展示

1、高分辨XRD可做单晶薄膜/外延薄膜,或单晶/多晶薄片材料;
2、样品要求:薄片材料,测量面平整,厚度测量要求薄膜与衬底电子密度有明显差别且粗糙度尽量小 ;
3、高分辨项目仅包含测试模块,如需绘图,需结合实际情况,加收费用,具体可联系技术老师咨询。
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HRXRD是一种基于XRD的一种新型测试模式,广泛用于单晶质量、外延薄膜的厚度、组分、晶胞参数、缺陷、失配、弛豫、应力等结构参数的测试。

薄片材料,测量面平整,厚度测量要求薄膜与衬底电子密度有明显差别且粗糙度尽量小。


400-630-1090
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2023-04-07 0 1164