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电感耦合等离子体光谱/质谱（ICP-OES/MS）
电感耦合等离子体(ICP)是用于原子发射光谱和质谱的主要光源，以ICP为中心，在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元),形成了多元素分析系统。用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度高等优点。 ICP-OES利用的是原子发射光谱进行定性定量分析；ICP-MS利用的是离子质谱，采用质荷比不同而进行分离检测。两者可分析的元素基本一致，不过由于分析检测系统的差异，两者的检测限有差异：ICP-MS的检测限很低，可以达到ug/L（ppb）的水平；而ICP-OES一般是mg/L（ppm）的级别。不过ICP-MS只能分析固体溶解量为0.2%左右的溶液（因此经常需要稀释），而ICP-OES则可以分析固体溶解量超过20%的溶液。
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