透射电镜(TEM)常见问题(一)
2022-05-10 16:56:20 0 745
透射电镜即透射电子显微镜(英文简称TEM)是使用最为广泛的一类电镜。TEM可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构,这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构,就必须选择波长更短的光源,以提高显微镜的分辨率。
TEM可检测的项目有:
可测试TEM、磁性TEM+HRTEM、SAED、EDS点扫/微区、EELS点或线或面扫、磁性STEM mapping、3D-TEM、STEM(HAADF)
做TEM测试对样品有以下几点要求:
(1)粉末、液体样品均可,固体样品太大了的需要离子减薄、双喷、FIB、切片制样。
⑵样品必须很薄,使电子束能够穿透,一般厚度为100~200nm左右;
⑶样品需置于直径为2~3mm的铜制载网上,网上附有支持膜;
(4)样品应有足够的强度和稳定性,在电子线照射下不至于损坏或发生变化;
(5)样品及其周围应非常清洁,以免污染。
而透射电镜(TEM)是以电子束透过样品经过聚焦与放大后所成的物像,因此,透射电镜(TEM)观察的是样品的内部精细结构,如晶体结构,形态等,而扫描电镜(SEM)则提供了样品表面及其组成的信息。TEM的分辨率比SEM要高一些。
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