球差电镜(AC-TEM)常见测试问题（一）一e测试

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球差电镜(AC-TEM)常见测试问题（一）

2022-10-21 16:02:49 0 534

TEM，STEM和球差是三种透射模式吗？

答：TEM和STEM是两种成像模式；球差即为球面像差，是透镜像差中的一种，是影响TEM分辨率的主要因素之一。

STEM模式对样品厚度的要求？

答：做STEM模式时，样品厚度影响不大。但如果要拍原子相，原子相所在的区域厚度尽量小于50 nm。

拍摄非晶样品，加速电压需要调么？

答：非晶样品如果不耐电子辐照，可以在测试之前将电压降到60kV或80kV，但降低电压，仪器的分辨率会降低。

普通TEM设备能拍出STEM图像吗？还是说STEM需要用更高级的设备才能拍出来？

答：普通TEM如果配有STEM探头，是可以拍STEM像的。

样品拍TEM没问题，拍STEM时说发白，拍不了，这个是什么原因，需要怎么解决？

答：拍STEM时发白，是STEM模式常见的一种现象。主要原因是样品不耐电子辐照或者存放时间较长，产生了一些有机成分吸附在样品表面。可通过以下方法解决：①制样时样品浓度尽量小一点；②测试前将样品进行烘烤；③进样前进行等离子清洗；④用球差仪器beamshower功能减少样品污染。

为什么STEM拍出来感觉比较模糊，没有TEM像清楚？

答：STEM成像有点类似于TEM的质厚忖度像，成像与元素的原子序数和样品厚度有关。如果样品很平整，比较薄，拍摄的清晰度很高，如果样品高低不平，清晰度会有影响。

球差的衍射斑点跟普通电镜一样吗？？

答：球差的衍射斑点跟普通高分辨电镜的衍射斑点是一样的。

软件傅里叶变换出来的衍射斑点效果很差，分辨率越高越差？

答：衍射斑点的效果主要看样品的结晶性。

SEM和TEM的EDS分析区域大小和分析精度一样吗？

答：不一样。SEM分析区域比TEM大，球差电镜可以做原子级别的元素分析，SEM分析精度要低于TEM。

Q10

单原子样品拍mapping时，能扫出一个个原子的点吗？

答：可以扫出一个个点，但是一般很难跟拍摄照片对应起来。

Q11

对单原子来说，除了球差电镜外，像XRD等可以辅助证明吗？

答：单原子可通过TEM、EDS等分析，一般通过球差和同步辐射来验证猜想。

Q12

球差原始数据如何得到滤波像？

答：可以通过DM软件中FFT变换得到滤波像。

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