《Nat. Commun.》:各向异性范德华电介质
2023-09-15 09:28:22 0 379
低维异质结构中的对称性破缺可为凝聚态物理中产生新兴量子现象提供前所未有的可能性。一般来说,位于原子尖锐的半导体/电介质界面上的范德华(vdW)电介质可以打破目标材料的对称性,形成具有特定晶格失配的莫尔纹,从而展现出控制电子态的非凡能力,并进一步实现其中的奇异量子现象。基于 h-BN 介电质的异质界面已经展示了这些界面现象的实例,如Chern绝缘态、电荷密度波态和拓扑谷电流,其中 h-BN 介电质和通道材料(石墨烯或过渡金属二卤化物,TMDCs)在其界面上沿平面外轴都显示出三重旋转对称性(C3)。相反,不具有 C3 对称性的低对称介电材料(例如,具有 C2 对称性)原则上可以通过在界面上形成各向异性的莫尔势来打破单层半导体的 C3 对称性,从而产生奇异的光学响应和各向异性的电子传输,同时保留作为电介质的选通能力。因此,具有较低晶格对称性的 vdW 介电材料可以在对称性不匹配的界面上产生独特的莫尔势物理和附加的器件功能。然而,这种策略仍未得到实验证实。
为了评估 SiP2 电介质的性能,他们测量了具有双栅极几何形状的 MoS2 晶体管的传输特性(图 1a、b),其中 20 nm厚的 SiP2 和 300 nm厚的 SiO2 分别用作顶部和底部栅极介质。如图 1c 所示,当顶栅电压 Vtg-SiP2 上升到 5 V 时,5 nm 厚的 MoS2 晶体管的通/断比高达 105,与 h-BN 栅极 MoS2 晶体管的通/断比值相当,达到了众所周知的实际逻辑电路应用标准。相比之下,当将底栅电压 Vbg-SiO2 扫至 ~5 V 时,晶体管产生的通/断比小至 10,而需要超过 80 V 的大 Vbg-SiO2 才能实现 105 的通/断比(图 1c 插图)。这一对比直接表明,与 SiO2 相比,介电常数更大、厚度更小的 SiP2 栅极电介质可以实现很强的电容容量。在外部电场强度为 1.5 MV cm-1 时,SiP2 栅极 MoS2 晶体管测得的漏电流小至约 10-5 A cm-2(图 1d)。如此低的漏电流与 Al2O3、HfO2 或 Bi2SeO5 等高κ电介质栅极的晶体管相当,而且优于低功率极限和标准互补金属-氧化物-半导体栅极极限的标准。随着 Vtg-SiP2 的增加,当 Vbg-SiO2 固定在 35 V 时,2 K 时的场效应迁移率 μ 可达到约 600 cm2 V-1 s-1(图 1e)。
为了证明 SiP2 电介质的巨大栅极可调性,他们测量了随温度变化的片电阻 (Rs-T),并观察到 1L-MoS2/SiP2 晶体管中的栅极诱导绝缘体-金属转变。如图 1f 所示,当 Vtg-SiP2 < 3.8 V 和 Vbg-SiO2 = 0 V 时,Rs-T 曲线显示出典型的绝缘行为,具有负温度系数 dRs=dT,并遵循热激活依赖性。
图3. MoS2/SiP2 异质界面的栅极可调各向异性传递特性
图4. MoS2/SiP2 异质界面的结构和电子特性
文献链接:https://www.nature.com/articles/s41467-023-41295-6
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