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电子背散射衍射(EBSD)

项目介绍
样品要求
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常见问题

电子背散射衍射(EBSD)

满意度: 100%

仪器型号:

英国-牛津-OXFORD NordlysMax3,牛津EBSD,牛津仪器(C-Nano),LEICA EM RES102 离子减簿仪,EDAX Hikari Plus,OXFORD-Nordlys m等

预约次数:

1593次

服务周期:

平均10.0个工作日

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样品要求

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常见问题

预约须知

1. 尺寸要求:试样尺寸大小不得超过直径25mm,厚度不得超过10mm。最优:长宽在7×7mm到10×10mm之间,厚度不宜过厚,一般在1-3mm间。过大的尺寸会使得样品距离探头较远以及WD较高,导致解析率降低,也会大大增加EBSD处理时"飘"的概率;

2. 样品要求:测试样品要导电,镶嵌的样品可以通过导电胶连接基座来处理,不导电的试样需要喷金或喷碳;电解抛光、震动抛光及氩离子抛光之前均需进行机械抛

3.下单前请将样品的状态(退火态、变形态、固溶态等)向技术顾问说明,技术顾问会根据实际情况推荐适合的制样方式,变形态的材料制样难度较高,不保证一次成功,具体收费方案请询问您的技术顾问;

4. 寄样时请务必标记测试面;

5.下单后请将做EBSD时需要的物相信息告诉我们,我们提前检查库中是否有这些相信息,若没有则需提供物相的晶格信息或cif文件;

6.数据要求种仅列出了部分结果,若有其他数据要求,欢迎带图询问技术顾问;

7. 此项目下单不支持视频测试,务必在送样前确认好测试条件以及样品信息。若需要视频测试请在“电子背散射衍射(EBSD)-云现场/现场”中下单;

8. 若需要数据分析请在数据分析-EBSD分析中下单;

9. 如有其他疑问,请联系前期对接的技术顾问。


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项目介绍

        电子背散射衍射,简称EBSD,主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。EBSD是可以做快速而准确的晶体取向测量的强有力的分析工具。主要应用是取向和取向差异的测量、微织构分析、相鉴定、应变和真实晶粒尺寸的测量。


样品要求

1. 尺寸要求:试样尺寸大小不得超过直径25mm,厚度不得超过10mm。最优:长宽在7×7mm到10×10mm之间,厚度不宜过厚,一般在1-3mm间。过大的尺寸会使得样品距离探头较远以及WD较高,导致解析率降低,也会大大增加EBSD处理时"飘"的概率;

2. 样品要求:测试样品要导电,镶嵌的样品可以通过导电胶连接基座来处理,不导电的试样需要喷金或喷碳;电解抛光、震动抛光及氩离子抛光之前均需进行机械抛

结果展示

1、数据形式:

每个样品给出CPR\CRC的原始数据和word报告

image.png 

或者ANG/OSC的原始数据:

 image.png

客户可使用channel5或者Aztec Crystal软件对数据进行分析,也可在EBSD处下单由我们帮忙分析出图word报告中包含形貌图像、参数设置及解析率、相分布图、BC图、欧拉图和IPF

也可增加Schmid因子图、再结晶图、GOS图、KAM图、ODF图、晶粒统计等,具体可将自己想要的数据结果告知技术顾问,询问能否出图。

2、数据示例:

报告中的数据图:

BC图:

image.png

IPF图:
image.png

Eular图:

image.png


可以另出的结果图:

Schmid因子图:

image.png

image.png

再结晶图

image.pngimage.png

GOS

image.png

image.png

KAM

image.png

image.png

ODF

image.png

晶粒统计

image.png


















常见问题
EBSD对于样品的要求是什么?

        样品要求:EBSD样品要求较高,要求样品测试表面光滑平整且无残余应力,样品应具有合适的尺寸(长宽高<10*10*5mm)和良好的导电性。


不导电的样品应该如何处理?

        一般选择喷碳处理。喷金会减弱背散射衍射信号。


EBSD有哪些制样方法?

        常见的制样方法主要有机械抛光、电解抛光、离子减薄等。

        其中机械抛光的适用范围广、抛光效率高,但样品表面容易产生应力及机械损伤;电解抛光需要根据不同的材料选择不同的抛光液,且抛光参数需要经过大量实验摸索,一般只适用于导电性好的材料。部分多相合金由于不同相电解速率不同,并不适合电解抛光;离子减薄一般使用惰性气体高能离子束对样品表面轰击,从而得到较为平整的微观表面,该方法适用大多数材料,且抛光效果较好。


不同的样品应该采用什么样的制样方法?

        陶瓷类样品一般采用机械抛光或者氩离子抛光;

        金属类样品一般采用机械抛光加电解抛光或者机械抛光加氩离子抛光;


测试前需要确认的信息有哪些?

        测试前需要确认的重要信息:空间群、晶胞参数、原子占位、晶体结构以及物相信息、样品是否导电以及测试面。


噪声黑点产生的原因有哪些?

        可能是由于在制备样品时,电解抛光后样品有一些肉眼看不到的污染,如氧化物之类的。


EBSD能标晶体取向吗?

        可以,此外还可以表征晶粒结构,晶粒尺寸和晶界。


Ar离子刻蚀测试样品要求是什么?

固体样品,样品直径小于30mm,厚度小于10mm。


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