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AFM常见问题

原子力显微镜 AFM

Q1:激光共聚焦显微镜、扫描电镜原子力显微镜三者的区别?

A:三者都是点源逐点扫描成像,通过控制扫描驱动范围,调节放大倍数,主要区别
①极限分辨率不同, 缘于放大信号源的差异
激光共聚焦:极限分辨率 150nm;
扫描电镜:20nm~0.8nm;
原子力显微镜:极限分辨率0.1nm。
②扫描驱动方式不同
激光共聚焦:激光转镜控制激光扫描范围和扫描速度;
扫描电镜:电磁线圈控制电子束扫描范围和扫描速度;
原子力显微镜:压电位移传感器驱动样品台X,Y 方向扫描。
③立体成像的差别
激光共聚焦:通过纳米精度步进电机驱动样品在Z轴方向逐层成像,软件将设定的各层图像合成清晰立体图像;
扫描电镜:单帧图像具有很大景深,但属于二维图像,通过立体对技术可实现三维成像;
原子力显微镜:成像的本质就是测量表面每个像素点的高低,描绘出立体形貌。
④工作环境差别
激光共聚焦和原子力显微镜可以在大气环境中进行测试样品;
一般扫描电镜必须在高真空环境下进行测试样品。
⑤应用范围差别
激光共聚焦:几倍 ~ 几千倍,样品制备简单。
扫描电镜 :几倍~几十万倍,样品制备稍微复杂一些,但总体也很简单;
原子力显微镜:几万倍~几千万倍, 要求样品非常平坦,样品制备很难。
Q2:块状样品的尺寸要求是多少?
A:块体及薄膜样品,长宽小于1cm,厚度不超过2mm。
Q3:想通过AFM来测得样品的厚度,能测得的厚度范围是多少?

A:AFM要求样品表面起伏不超过15μm,否则扫不出来图像,所以厚度也不能超过15μm。

本文为e测试综合整理,未经允许,禁止转载!

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