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AFM常见问题

2022-08-12 15:38:47 0 650

Q1:激光共聚焦显微镜、扫描电镜原子力显微镜三者的区别？

A:三者都是点源逐点扫描成像，通过控制扫描驱动范围，调节放大倍数，主要区别

①极限分辨率不同, 缘于放大信号源的差异

激光共聚焦：极限分辨率 150nm；

扫描电镜：20nm~0.8nm；

原子力显微镜：极限分辨率0.1nm。

②扫描驱动方式不同

激光共聚焦：激光转镜控制激光扫描范围和扫描速度；

扫描电镜：电磁线圈控制电子束扫描范围和扫描速度；

原子力显微镜：压电位移传感器驱动样品台X,Y 方向扫描。

③立体成像的差别

激光共聚焦：通过纳米精度步进电机驱动样品在Z轴方向逐层成像，软件将设定的各层图像合成清晰立体图像；

扫描电镜：单帧图像具有很大景深，但属于二维图像，通过立体对技术可实现三维成像；

原子力显微镜：成像的本质就是测量表面每个像素点的高低，描绘出立体形貌。

④工作环境差别

激光共聚焦和原子力显微镜可以在大气环境中进行测试样品；

一般扫描电镜必须在高真空环境下进行测试样品。

⑤应用范围差别

激光共聚焦：几倍 ~ 几千倍，样品制备简单。

扫描电镜：几倍~几十万倍，样品制备稍微复杂一些，但总体也很简单；

原子力显微镜：几万倍~几千万倍，要求样品非常平坦，样品制备很难。

Q2:块状样品的尺寸要求是多少？

A:块体及薄膜样品，长宽小于1cm，厚度不超过2mm。

Q3:想通过AFM来测得样品的厚度，能测得的厚度范围是多少？

A:AFM要求样品表面起伏不超过15μm，否则扫不出来图像，所以厚度也不能超过15μm。

本文为e测试综合整理，未经允许，禁止转载！

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