TEM测试中，为了获取高质量的样品图像，制样很关键。在制样的过程中，其中载网的选择也是至关重要。

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什么是载网？

载网通常是一种多孔的金属片，对样品起加固和支撑作用。载网可以用 Cu、Ni、Mo、Al、W、Au 及尼龙等材料制作，但通常使用 Cu 制作，故统称铜网。它有许多不同的规格，可根据样品的性质选择使用。大多数透射电镜样品在制样时，为了确保样品能搭载在“载网”上，会在“载网”上覆一层有机膜，称为“支持膜”。这种具有支持膜的载网，称为“载网支持膜“。当样品接触载网支持膜时，会很牢固的吸附在支持膜上，不至于从载网的孔洞处滑落，以便在电镜上观察。支持膜为一层非晶质的薄膜，厚约20 nm。它在电子束照射下应该是“透明的”，本身并无任何结构，且与样品不会发生反应。支持膜由塑料或碳制成。 

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载网的类型

根据载网的材质不同

分别有 Cu、Ni、Mo、Al、W、Au 等不同载网，常见测试用的是铜网，但如果能谱分析铜元素时，则应该选择其他材质载网。

按网孔大小

分为50目到2000目不等，孔径可从800μm到6.5μm，最常用的载网为200目，孔径约为100μm，肋宽约30μm。

根据支持膜的类型

其中塑料材质中有方华膜、火棉胶膜以及微栅膜。但使用前最好也喷一层薄薄的碳膜。碳支持膜的制作比较复杂。

1. 无孔碳支持膜系列

碳支持膜(Formvar Stabilized with Carbon SupportFilm)是在方华膜(也可用火棉胶)上再覆盖一层碳，是最常见并被广泛采用的支持膜。

2. 纯碳支持膜系列

①纯碳支持膜是在载网的反面有一层可移除的方华膜，载网正面覆盖较厚的碳层。当观察有机溶剂分散过的样品时，溶剂会将载网反面的有机层溶去，只留下纯碳膜和被观察样品。由于其良好的特征优势可减少样品的热漂移，增强样品稳定性。对于较高温和较低温下处理的样品，也有明显的优势。适合观察10 nm 以上的样品。400目筛网最佳。膜厚度在20-40nm。

②薄纯碳支持膜是没有附带任何有机层的薄型纯碳膜。背底影响小，适合观察分散性较好，以及核壳结构的样品。膜厚度在7~10nm，更薄可以达到3-7nm。选择400目筛网最佳。

③超薄碳支持膜是在具有微孔支持膜(微栅)上再覆盖一层薄的碳层。没有有机背底的纯碳膜，适合分散性较好的10nm以下的纳米材料样品观察。膜厚度在3~5 nm。选用 230 目载网最佳。

3.有孔(微栅)支持膜系列

①微栅支持膜是具有微小孔洞的支持膜，是高倍电镜下观察纳米结构像的最佳选择。微栅支持膜是由特殊的有机材料构成，牢固性较好。病毒或细菌颗粒一般会附着在微栅孔的边缘，一维纳米材料可搭载在微孔两端，没有基底物质的干扰。更便于微束分析，获得单颗粒电子衍射像。孔径大约 2 ～8 μm。选用 230 目载网效果最佳。

②纯碳微栅支持膜拥有纯碳支持膜耐有机溶剂腐蚀和耐高温等特点，又具备微

栅支持膜在高倍电镜下观察样品高分辨像的优势。更便于微束分析或获得单颗粒电子衍射像。选择230 目载网最佳。

③FIB微栅支持膜专用于FIB(聚焦离子束)分析技术领域，主要适用样品为微电子器件。选用 200 目载网最佳。

④多孔碳支持膜是一款适合纳米材料表征的新型支持膜产品。低倍下观察形貌，高倍下观察高分辨像。

⑤Quantifoil规则多孔支持膜可用于支撑超薄碳膜或直接作为较大样品的载体。对物质纳米特征研究，如生物大分子复合体在载体自由悬层的研究。

⑥C-flat 纯碳多孔支持膜是应用于 Cryo-TEM 的首选支持膜。

4.非碳材料支持膜系列

①纯方华膜，膜强度高，透过率好，适合承载超薄切片。但导电性不好，局部会造成碳化，样品会产生漂移。通常在 100 kV 电镜上使用较多。选用 200 目载网最佳。

②镀金支持膜和镀锗支持膜主要用于不能以碳为衬底的电子显微表征。便于 EDS 检测。可以用来校正电子显微镜的放大倍数和电子衍射相机长度，标定高分辨像的晶格条纹间距。选择230 目载网最佳。锗产生的背底噪音优于金膜，所以可以改善像的衬度。

③氮化硅薄膜窗格可承受 1 000°C 以上的高温。适用高温条件下研究或制备纳米材料。

5. 特型载网支持膜系列

光圈载网，狭缝载网，双联载网等，

①光圈载网和狭缝载网用来蘸取连续超薄切片，膜过厚，会影响样品的清晰度。

②双联载网支持膜可应用于磁性样品或对支持膜附着力差的样品。

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注意情况

在TEM测试选用载网时，需要注意一些特殊情况：

1、在做高分子、生物样品切片后需要染色时要用裸网或微栅，因为染色剂通常会染方华膜。

2、在负载一些二维方向尺度较大的薄膜样品时，比如大面积的石墨烯膜、有机膜，如果用碳支持膜背底影响较大， 用微栅膜在低倍观察时有微栅孔的结构，因此可选用目数较高的裸网，如1000目、2000目的铜裸网。

参考文献：

[1]曾丽珍,赵少飞.浅谈高质量透射电镜照片的拍摄[J].实验室研究与探索,2016,35(07):295-301.

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