TOF-SIMS常见测试问题（一）一e测试

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TOF-SIMS常见测试问题（一）

2022-10-14 17:24:50 0 506

样品表面是不是需要基本平整？

答：最好平整；如果表面粗糙的话，高度差也尽量不要超过150μm。

电池锂负极测试怎么处理？

答：手套箱里拆出来剪小，通过样品传送管制备样品并对传送样品进行保护。

离子后面带的正或者负，为什么都是正一价或负一价呢？

答：这个正或者负只是代表正离子或者负离子，与价态无关。

请问测试TOF-SIMS时，正负离子都需要测，那么需要几个样品呢？是在同一个样品上选取不同的区域吗？

答：如果是质谱和二维成像，是一个位置，因为没有损伤，采集完正离子可以继续采集负离子；如果是深度分析，需要换位置，分别测试正离子和负离子。

TOF-SIMS可以测离子含量吗？

答：不能。TOF-SIMS静态二次离子质谱，测试离子强度，定性测试，不能定量。

TOF-SIMS中，质谱测试溅射厚度为多少？

答：一般2到3层原子，小于1nm。

可以测试Si中参杂的O不？

答：可以。含量在ppt-ppb范围内用D-SIMS测试，含量在ppm范围内用TOF-SIMS测试。

同位素比对是什么原理？

答：TOF-SIMS分析可以表征元素的同位素，其不同同位素谱峰的峰强比与其在自然界中的丰度比是一致的。所以根据同位素质量位置以及谱峰比例关系有助于我们对元素和成分进行定性判定。

不锈钢中C含量，SIMS和EDS测试准确性有差别吗？

答：EDS可以半定量，但EDS不适合原子序数低的元素定量；SIMS定量需要用标样定量法，常规测试得不到含量值.

Q10

对生物或植物组织，石蜡包埋切断面会影响结果吗？

答：可以测，但测之前最好用团簇离子源剥离表面再测比较好。

Q11

二次离子像这么散是因为不太导电么？

答：二次离子这么散不是因为导电性，是跟样品形貌有关。不导电样品用TOF-SIMS分析可以采用导电双面胶制样、加MASK以及采用双束中和的功能就可以对不导电样品有比较好的分析能力。

Q12

Mask有正反么？

答：Mask主要作用是在制备样品的时候遮挡样品部分表面以及改善荷电效应，没有正反面之分。

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