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首页 测试百科 【每周e课】干货学习——SEM小知识2.0

【每周e课】干货学习——SEM小知识2.0



SEM小知识2.0


 Q:

拍SEM时,不导电或导电性差的样品,为什么喷金或碳?

A: 

用扫描电镜观察时,当入射电子束打到样品上,会在样品表面产生电荷的积累,形成充电和放电效应,影响对图象的观察和拍照记录。因此在观察之前要进行导电处理,喷金或喷碳,使样品表面导电。

Q:

高倍下SEM的Mapping效果不好,原因是什么?

A: 

倍数过高的Mapping图,噪点较多,样品上的元素分布不清晰,不宜分辨;一般SEM最大在3万倍左右拍摄。

Q:

样品不含碳元素,但是结果显示含量高于70%,与实际偏差太大,怎么处理呢?

A:

能谱对原子序数小于11的元素不灵敏,碳氮氧存在误差的情况比较常见,另外,碳污染来源比较广,如导电胶、样品与手接触、DP泵、空气灰尘等等;特别关注碳氮氧等轻元素的不适合做能谱;另外,需要Mapping测试的话,除样品外的背景也会存在明显的碳氮氧,可能无法与样品区分,Mapping关注碳氮氧等轻元素的需要特别注意;对于含量高于实际值偏多,可以人为降低含量。

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