【每周e课】干货学习——SEM小知识2.0一e测试

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SEM小知识2.0

拍SEM时，不导电或导电性差的样品，为什么喷金或碳？

用扫描电镜观察时，当入射电子束打到样品上，会在样品表面产生电荷的积累，形成充电和放电效应，影响对图象的观察和拍照记录。因此在观察之前要进行导电处理，喷金或喷碳，使样品表面导电。

高倍下SEM的Mapping效果不好，原因是什么？

A：

倍数过高的Mapping图，噪点较多，样品上的元素分布不清晰，不宜分辨；一般SEM最大在3万倍左右拍摄。

样品不含碳元素，但是结果显示含量高于70%，与实际偏差太大，怎么处理呢?

A：

能谱对原子序数小于11的元素不灵敏，碳氮氧存在误差的情况比较常见，另外，碳污染来源比较广，如导电胶、样品与手接触、DP泵、空气灰尘等等；特别关注碳氮氧等轻元素的不适合做能谱；另外，需要Mapping测试的话，除样品外的背景也会存在明显的碳氮氧，可能无法与样品区分，Mapping关注碳氮氧等轻元素的需要特别注意；对于含量高于实际值偏多，可以人为降低含量。