XPS测试常见问题(二)
2022-03-09 14:37:45 0 786
首先 应该拟合C 1s峰,然后看其峰值与标定值(284.6 eV)相差多少;
拟合Ti 2p峰前,应相应减去或加上上述差值,然后再拟合。
拟合方法就不赘述了。
另外,有没有Ti3+不好说,要根据你的实验情况,给你的拟合后的峰,有Ti3+,含量也可以从峰面积中读出,但是并不一定准确。应该还有个对比实验,因为你的负移太大了。Ti4+峰值都对不上。
1.把后缀TXT改成TSF。然后再CASAXPS选择convert(不是点open),就会自动生成一个VMS文件。
XPS峰的本征展宽是由于能级跃迁有能量-时间不确定原理制约,所以能级本身会有一定宽度。严格来说,1/2和3/2的能级不一样,所以展宽也会不同,但是区别非常小,小到XPS根本无法分辨,所以对于XPS分峰,相同元素的不同价态以及自旋-轨道分裂的双峰都应保证相同的半峰宽。
但对于实际情况来说,固体表面是非常复杂的,比如氧化物,表面的氧缺陷导致表面金属离子价态并不呈现一个固定值,所以说在分峰时往往做统一处理,这时就不保持半峰宽一致,原因是这个峰里包含了许多价态。
再比如,金属表面和体相状态是完全不同的,而金属表面又会有各种缺陷,有edge、corner、kink等各种结构,从理论上来说,所有不同状态的元素的相同能级都应有相同的半峰宽,但由于这种复杂性的存在,往往做统一处理,这时就不用保持半峰宽一致了。
总而言之,分峰时具体问题要具体分析,如果分出的峰是一种作统一处理的峰,当然不用保证与其他峰的半峰宽一致,但如果分出的峰是具有明确特征和价态的峰,这类峰如果是相同元素相同能级,就需要保持半峰宽相同。
3.该元素不分布在样品表面,即不在XPS所测微区范围内。
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