XPS常见问题一e测试

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XPS常见问题

2022-07-26 11:57:09 0 431

不知道样品具体有哪些元素可以做么？

可以做，扫一个全谱后看下有哪些元素，但这个会有误差，最好是根据样品实际还有的元素情况测试。

元素含量小于3%可以测试么？

可以测试，但是含量低会使得元素没有明显信号，毛刺较多。

样品想要测试位置很小，又不想打上其余的地方，怎么办？

常规xps光斑在400-600um范围，若测试区域较小，建议改用微区XPS测试。

为什么有的数据看起来毛刺很多？

这个原始是否为磁性元素且元素含量较低。

所测窄谱元素，含量比为啥跟预期不符？

可以从如下几个方面分析：①样品表面被污染 ②样品分布不均匀 ③该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内 ④XPS是半定量分析，和元素的实际含量会有出入。

X射线光电子能谱和X射线荧光光谱是一样的吗？

①相同点都是用x-ray激发，不同点是，荧光是检测被激发原子发射荧光波长、强度实现对元素定性和定量，能谱是测定激发出来的光电子动能实现对元素的分析。

②x射线荧光光谱是XRF，做元素含量的定性，定量分析，可以f-u，但是无法区分价态；x射线光电子能谱是XPS，主要做元素含量的定性半定量分析，以及价态分析，分析方向不一样的。

XPS测试，元素含量低的话，多扫几次高分辨谱，会改善峰的强度吗？

理论上是可以改善的，但是跟元素的具体含量还有关系，若含量极低，比如0.5%以下的，实际都可以认定为几乎没有此元素，多扫几次效果也很一般。

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