制备扫描电镜粉末样品方法一e测试

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制备扫描电镜粉末样品方法

2021-05-21 13:55:58 13 671

SEM固体样品制备方便，只要样品尺寸合适，就可以直接放到仪器中去观察。样品的直径和厚度一般从几毫米到几厘米，视样品的性质和样品室的空间而定。

对于绝缘体或导电性差的材料来说，则需要预先在分析表面上蒸镀一层厚度约10～20nm的导电层。否则，在电子束照射到该样品上时，会形成电子堆积，阻挡入射电子束进入和样品内电子射出样品表面。

导电层一般是一次电子发射系数比较高的金、银、碳和铝等真空蒸镀层。在某些情况下扫描电镜也可采用复型样品。

SEM样品制备大致步骤:

1.从大的样品上确定取样部位；

2.根据需要，确定采用切割还是自由断裂得到表界面

3.清洗；

4.包埋打磨、刻蚀、喷金处理。

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