场发射扫描电镜|场发射扫描电镜的原理|场发射扫描电镜参数|场发射扫描电镜分析方法|场发射扫描电镜用途-e测试

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场发射扫描电镜（SEM）

满意度： 99%

仪器型号：

德国-蔡司-ZEISS sigma500（能谱：BRUKER XFlash 6130），美国-FEI-Quanta FEG 250（能谱：EDAX Element），美国-FEI- Quanta 2等

预约次数：

81736次

服务周期：

平均5.2个工作日

测试收费：

￥70.40起￥80.00

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项目介绍

样品要求

结果展示

常见问题

预约须知

1. 样品要求：粉体需5mg左右；块体长宽高需小于10mm（超出该尺寸请提前联系技术顾问确认，镶嵌样及多孔材料抽真空时间较长，尺寸尽量小一些，非特殊原因请务必按要求制样，以免耽误测试效果及周期）；液态或粘稠样品务必烘干寄样，如电子束照射下流动变形，则无法拍摄；待测样品务必保证无毒、无害、无污染，若隐瞒实际信息，需承担相应责任；

2. 关于喷金：导电性差及磁性样品为保证拍摄效果，建议喷金（为避免能谱测试元素干扰请选择合适的电极类型）；

3. 关于制样：拍摄截面请尽量提前制备截面，软质且较薄的材料可使用液氮脆断，硬质材料或厚度大的建议直接掰断或敲断即可，液氮脆断不适用；纳米粉末容易团聚，请选择合适的分散溶剂及超声时间；

4. 能谱测试需要原始形貌图及原始数据的，请备注；

5. 不同设备的倍数有一定区别，为保证得到满意的效果，请提供形貌参考图及能谱位置说明，如无类似参考，请尽量文字详细描述需求；若对图片的分辨率有要求请提前联系您的技术顾问老师；

6.磁性说明：含铁、钴、镍、锰等磁性元素均视为磁性样品（吸铁石能吸起来为强磁，吸铁石吸不起来为弱磁）。若样品有磁性，务必备注清楚；若隐瞒样品实际信息，导致设备损坏，需承担全部赔偿责任；

7.特别注意：测试过程中老师会根据要求和样品实际情况尽力拍摄，但无法保证一定拍到理想形貌；常规倍数可达5w-10w，最大20w倍，但实际效果和样品性质有关，若样品有磁性或导电性差，高倍下不能保证好的效果，敬请理解！

8.此项目下单不安排视频测试，若需现场/云现场测试请在“场发射扫描电镜（SEM）-现场测试/远程视频”中下单；

9. 如有其他疑问，请联系前期对接的技术顾问；

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项目介绍

扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。此外，扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合，可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。

样品要求

1、粉体需5mg左右；块体长宽高需小于10mm（超出该尺寸请提前联系技术顾问确认，镶嵌样及多孔材料抽真空时间较长，尺寸尽量小一些，非特殊原因请务必按要求制样，以免耽误测试效果及周期）；液态或粘稠样品务必烘干寄样，如电子束照射下流动变形，则无法拍摄；

2、含铁、钴、镍、锰等磁性元素均视为磁性样品（吸铁石能吸起来为强磁，吸铁石吸不起来为弱磁）。若样品有磁性，务必备注清楚；若隐瞒样品实际信息，导致设备损坏，需承担全部赔偿责任；

结果展示

表面形貌

能谱EDS

点扫

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mapping

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常见问题

SEM粉末样品制样时，基底如何选择？

分散性比较好的样品直接分散在导电胶上测试即可；

如果样品容易团聚，最好通过溶剂超声分散滴膜测试，基底的选择通常有硅片、铜片，铜片相比硅片，导电性更好；如果需要测试能谱，注意基底的选择不能干扰样品信息，如关注铜元素，最好选择硅片作为基底；

SEM测试中，样品喷金/碳的作用？如何选择喷金还是喷碳？

用扫描电镜观察时，当入射电子束打到样品上，会在样品表面产生电荷的积累，形成充电和放电效应，影响对形貌图的观察和拍照记录。因此在观察之前要进行导电处理，喷金或喷碳，使样品表面导电；

一般拍形貌，喷金（Au、Pt）清晰度更好，Au颗粒是5nm左右，Pt是2nm左右，理论上Pt尺寸小，对形貌的影响更小，更合适一些；但是由于Au和 Pt的峰可能会对其他元素的能谱有影响，而碳的结合能比较低，基本无影响，如存在与Au和Pt峰重叠的元素存在，这时喷碳更合适，测试时可针对样品成分区别进行选择；

SEM拍样品截面需注意哪些？如何制样？

对于脆性薄片如硅片、玻璃镀膜片等可直接掰断或敲断；

对于高分子聚合物，有一定塑性和韧性，该法则不可取，

方法1：冲击断裂，该法得到断面粗糙度比较大；

方法2：液氮脆断，将样品在液氮下脆化处理后瞬间折断，可得到较为光滑平整的断面；

方法3：离子切割，利用离子束抛光仪，通过离子束轰击样品截面，去除墨痕、碎屑和加工应变层；

方法4：冷冻超薄切片，超薄切片得到的样品，更接近样品固有状态结构，适用于韧性很强且硬度很大的样品，如聚丙烯材料；

为什么画框点扫的含量和XRF测试的有差距？

采样深度不同，XPS采样深度为2-5nm，EDS采样深度大约1um。

二次电子模式和背散射模式拍出来的效果有什么区别？

二次电子产额对原子序数不敏感，分辨率较高；背散射重原子含量越高，背散射电子产额越大，图像越亮，分辨率较低。

能谱测试的检测限是多少？

0.1w%，有时候小于0.1w%也可能会检测出来，但是结果偏差较大。

咨询热线

400-005-5990