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项目介绍
样品要求
结果展示
常见问题
1. 样品要求:块状和薄膜样品,长宽小于10mm,厚度小于3mm(最佳尺寸小于5×5×2mm,大尺寸样品请联系技术顾问确认;岛津设备最好长宽在5mm内),刻蚀的样品尺寸尽量做5-10mm的方块,请务必标记清楚测试面(建议不测面打x,或者测试面打✓);粉末样品,不少于10mg;液体样品需自行制好样干燥后再寄送;
2. 特别注意:此次项目要求样品要充分干燥,易吸湿样品请提前说明;无法测试含F、Cl、Br、I、P、S、Hg单质等易挥发成分的材料;块体/薄膜样品表面请用乙醇擦拭干净或抽真空来样,接触空气容易受C,N,O,Si等元素污染,测试结果可能会有误差;样品是用胶带固定到样品台上,回收的样品会有污染或损坏/损失,不建议回收样品!测试默认Al靶;岛津设备做不了刻蚀;
3. 此项目按元素个数收费(需要包含必测元素C,不能测试H、He元素);一个元素测试多个轨道,计为多个元素;一个样品默认一个测试位置;含量小于5%的元素可能测不出明显信号,请知悉!
4. 请务必写清楚测试元素!
5. 请根据需要选择数据格式:赛默飞设备默认VGD/VGP格式(软件Avantage),岛津设备默认VMS格式(软件CasaXPS),PHI设备默认SPE格式(MultiPak);
6. 如有其他疑问,请联系前期对接的技术顾问;
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1. X射线光电子能谱(XPS)可测试全谱、精细谱、俄歇谱、价带谱,也可刻蚀后采谱得到深层的信息;
2. X射线光电子能谱(XPS)按元素个数收费(需要包含必测元素C,不能测试H、He元素);一个元素默认测一个轨道,若测试多个轨道计为多个元素;一个样品默认一个测试位置,若测试多个位置计为多个位置;
3. XPS定量为半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号;
4. 测试默认单色化Al靶(Al Kα source),能量1486.68eV;
1. 样品状态:要求块状、薄膜、粉末样品;
2. 粉末样品:至少10mg;
3. 块状/薄膜样品:尺寸小于10*10*3mm,最佳尺寸小于5*5*2mm;需标记清楚测试面(建议不测面打x,或者测试面打✓);
4. 注意:①液体样品需制好样干燥后再寄送;
②易氧化的样品建议手套箱制样,也请抽真空后送样;
③XPS是高真空环境测试的,所以要求样品要充分干燥,易吸湿样品请提前说明;
④不能测试含硫、氟、氯、溴、碘单质等易挥发成分的样品;
⑤样品含有放射性元素请提前说明;
⑥块状/薄膜样品表面请用乙醇擦拭干净或抽真空来样,接触空气容易受C、N、O、Si等元素污染,测试结果可能会有误差;
⑦样品是用胶带固定到样品台上,回收的样品会有污染或损坏/损失,不建议回收样品!
高分辨+分峰拟合图(需要数据分析):
一般是以C-C峰284.8ev进行校正的,总谱、分谱是不同的测试方法,所有不是一起校正的,只校正分谱数据,总谱不用校正。
定量是以元素的特征轨道谱图为准,如果存在多个轨道,切忌重复计算;若不同元素间轨道有重合,一般需要扫一下元素的非特征轨道来计算含量。
XPS不具备测试深度的功能,无法确定具体的刻蚀深度;调节刻蚀能量和面积后得到的刻蚀速率是按照Ta2O5来参考的,实际的刻蚀速率会因为样品实际情况而变化。
比如我可以按照Ta2O5的速率刻蚀10nm,但是具体样品刻蚀的深度未知,最终可能比10nm深,也可能比10nm浅。
1、样品本身污染,在样品制备、保存或者测试过程中被空气或周围样品污染;
2、样品不均匀,因为测试区域仅几百微米,测试深度仅几个纳米,不同位置结果差别可能比较大;
3、是半定量结果,和元素实际含量会有出入。XPS是表面分析技术,测试的是表面几个纳米深度的信息,不代表整个样品。
400-005-5990
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