【e测试干货】手把手教你使用 Zeiss Supra55扫描电子显微镜一e测试

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【e测试干货】手把手教你使用 Zeiss Supra55扫描电子显微镜

2020-10-28 10:56:45 3 1989

1打开电源power on (绿按键)

2进入计算机系统，启动Smart SEM User Interface软件，进入User目录，输入用户名和密码。

3换样品：

[1] 装试样：在样品座上装好样品（各样品观察点高度基本一致），并记录样品形状、编号和位置。

[2] 进入Vacuum菜单，选择Vent，打开氩气瓶，放气。

[3] 打开样品室，带手套更换样品座，关好样品门。

[4] 选择pump抽真空。待VAC Status显示Ready后，可以加高压EHT。

[5] 进入Gun菜单，选择EHT on。

4分析样品：

[1] 定位样品：打开TV，移动样品台。升至工作距离约在10mm处（随时准备按下“stage stop”）。

[2] 开高压：根据检测要求和样品特性，设定加速电压。

[3] 观察样品，定位观察区：

缩小放大倍数至最小；

SE2二次电子模式下聚焦；

3档扫描速度下，全屏快扫；

聚焦并调整亮度和对比度（Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine）；

必要时升降样品台，WD常用5～10mm；

移动样品台X、Y；

聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位（可利用裂纹，小颗粒，小相等辅助聚焦）；

[4] 消像散：选区扫描，依次调Stigmation X、Y和聚焦，直到图像最清晰。

[5] 成像操作：

进一步放大至～50kX、并进一步聚焦和消像散；若需拍背散射模式下的照片，切换成AsB；

全屏扫描，调亮度和对比度；用Beam Shift或Ctrl＋Tab定位成像位置；

点击Mag设置所需放大倍数；Scanning面板选择消噪模式（一般用Line Avg）；

选择扫描速度和N值（使cycle time在40s左右为宜）；

确认Freeze on＝end frame；点击Freeze；等待扫描完成。

[6] 存储照片：

点击鼠标中键（滚轮）或右键，弹出快捷菜单→Send to→Tiff file；

设置文件夹，取文件名，设置文件名后缀，点Save；

存储结束后，点击unfreeze，点击3档快速扫描。

5换样品：进入Gun菜单，选择“EHT off”，重复上述步骤3、4。

6关机步骤：进入Gun菜单，选择Beam State “EHT OFF”，进入Vacuum菜单，选择Vent，取出样品，关好样品门，选择pump抽真空，待VAC Status显示Ready后，退出Smart SEM User Interface。

7退出计算机系统，按power standby 钮（黄色按键）。关好气瓶。

专业词汇速递

Airlock 样品交换室

Annotation 标注

Aperture 光阑

Bakeout 烘烤

Column 镜筒

Cycle time 扫描循环时间

EHT 加速电压

Emission 发射像

Extractor 引出电极

Focus wobble 聚焦摇摆

Freeze 冻结图片、停止扫描

LUT (look up table) 信号变换关系

Normal 全屏正常扫描

Reduced 选区扫描

Stigmation 像散

Vacuum (Vac) 真空

WD (working distance) 工作距离(电子束焦点与镜筒底端间的距离)